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无尘室有哪些常用名词

德信致远小编来为大家总结下无尘室的常用名词：

1.无尘室

无尘室是一个为了对空间内空气中的微粒做控制，所建造的特殊封闭性建筑。一般而言，无尘室也会对温湿度、气流运动模式、与震动噪音等环境因素做控制。

2.微粒控制

微粒控制的第一步，是把室内微粒对制程影响的程度做完整分析，然后针对分析结果，制定恰当的微粒控制方式与无尘室管理模式，才能有效率的控制微粒污染。在做微粒影响分析时，需特别注意数据的量化，也就是粒径与其数量对制程的影响，才是有用的数据。

3.外来污染源

从无尘室外进入系统的污染源，外来污染源主要是由空调通风系统所导入，另外门、窗、墙壁裂缝等也是外来污染源的成因。

4.内部污染源

无尘室内部产生污染的来源，一般是制程机器与操作员工，严重的内部污染源一般是操作员工。

5.隔离

隔离是污染控制的一种观念，也就是让污染源隔绝在无尘区域之外。这种观念多应用在高洁净度的无尘环境，例如 Class 100，Class 10，Class 1等高滤网覆盖率的无尘室，或是使用迷你洁净室将机台整个包住。

6.稀释

稀释是污染控制的另一种观念，多应用在洁净度不高的无尘室。例如在 Class 10000的无尘室，因为换气量不大，制程与人员产生的粒子就会在室内打转，要比较常的时间才会排出。因此新的干净空气只能稀释室内的微粒浓度，让室内洁净度控制在某一等级之下就可以了，部要求把人员与制程隔开。使用稀释法作为粒控制时，要特别注意本节第二条微粒影响分析的正确性，能掌握微粒的产生速率，才能有效的稀释微粒。

7.气流模式

流场型态，气流分布，气流的流向等性质。由于微粒的移除完全掌握在气流的模式，因此愈洁净的无尘室或是无尘区域，对气流模式的掌控就愈重视。基本上要先掌握气流模式，才能掌握洁净度。

8.单一流向型气流

气流以同一个方向移动，这种无尘室称为单一流向型无尘室，以前称为层流型无尘室，定义并无多大改变。高洁净度无尘室需要单一流向型气流。

9.非单一流向型气流

气流方向不受控制，就是所谓的乱流型无尘室，洁净度较低的无尘室都是用非单一流向型气流以节省成本。

10.As-built cleanroom（刚完工的无尘室）

已经完成且可以操作，所有相关支持设施皆已完成的洁净室，但并没有设备及操作设备的人员。

11.At-rest cleanroom（准备中的无尘室）

已经完成且可以操作，所有相关支持设施皆已动作的无尘室，设备已加载并可以操作或已在运转，但没有操作设备的人员。

12.Operational cleanroom（操作中的无尘室设施）

一个已在正常运转的无尘室，所有相关支持设施皆已动作，设备及人员皆已加载，运转状况可以呈现和达到其正常的功能。

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