电子工业超净间设计及装修一般有哪些方案

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电子工业超净间设计及装修一般有哪些方案

在超净间的应用领域，半导体行业算是工业超净间大佬级别的存在了。超净间在半导体行业的建设目的是为了以无生命微粒的控制为对象，控制超净间内空气尘埃微粒对工作对象的污染，使超净间内部保持正压状态，良好地控制出品环境。

半导体超净间的建设专业度高且程序复杂，要打造满足标准且适合工艺流程的超净间包含多种专业维度的建设内容。比如说：

建筑构造、内部平面、工艺布置、装饰装修、人员和物料净化、暖通系统建设、自控系统建设、通排风系统建设、气体供应系统建设、管网建设等。这些内容每一个维度都关系着该车间目标控制标准的达成。

因为电子工业超净间建设环节较为复杂，德信致远先摘出在半导体超净间建设环节中，暖通系统和气体供应系统的建设相关内容加以概述。

半导体超净间暖通系统设计要点：

1.半导体超净间多以万级（局部百级）为设计目的。要达到这样的标准，就需要选择高效或亚高效过滤器(洁净级别低时)作为终端过滤器，对进入无尘车间的空气，进行一级过滤。为保护终端过滤器和延长其寿命，需要使空气先经中效过滤器进行过滤。

2.除了考虑洁净的空气送风外，还要考虑合理的气流分布流型。譬如在工作区应避免涡流区就一个尽量使送入房间的洁净度高的空气直接到达工作区;气流的流动有利于洁净室内的微粒从回风口排走。

3.要根据无尘车间的规格大小来选择合适的送风设备，达到足够的送风量，以达到可以稀释空气的含尘浓度，又能保证有稳定气流流型的目的。

半导体超净间供气系统设计要点：

在工艺技术较为先进的半导体晶圆工厂的制造过程中，工艺步骤达几百道，前后要使用几十种不同种类的气体。

在半导体、集成电路这类电子工业超净间建设过程中，因为工艺复杂对环境要求高。要在一定空间内清除空气中的颗粒物、有害空气、细菌等污染物，控制室内温度、清洁度、室内压力、气流速度和气流分布，将噪声振动和照明、静电控制在一定需求范围内，需要平面设计师和各技术段工程师非常精密的计算与合作。

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