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洁净室及洁净棚的洁净度如何检测？

日期：2021-01-18 14:46 浏览次数：
洁净室及洁净棚的洁净度如何检测？
 
洁净棚和无尘室工程的检测根据被检测面积规定的采样点数参考下表1。

l 检测位置定义为距离地面800mm~1200mm高度。
 

l 参考标准：ISO14644（美国联邦标准209E）或按设计要求。洁净等级具体可分1级、10级、100级、1000级、10000级和100000级。
l 微粒允许值：
检测仪器：CEMDF-9881粒子计数器。

洁净度检测也可以通过有规律扫描检测的方式来获取数据，如遇到数据波动异常的点，再通过定点详细检测的方法来获取数据。
 
更多关于洁净室和洁净棚的信息请查看
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